Deutschlands großes Presseportal - Homepage
» kostenlos Pressemitteilung veröffentlichen
» Kunden Login zu "meine Redaktion"
»Suche / Lokale Suche
> Startseite > Industrie & Handwerk

Messtechnik erlaubt schnelle Prozessüberwachung in der Diodenherstellung

Der Messtechnik-Spezialist Confovis GmbH, Jena sorgt mit detaillierten Messdaten für umfangreiche Informationen zu der Prozess- und Produktqualität beim Laser-Dioden-Hersteller Lumics GmbH aus Berlin.
Dieser brauchte für die Messung von Mikrostrukturen ein Messsystem, das schnell, zuverlässig und zerstörungsfrei unterschiedlichste Proben analysieren kann. Mit dem konfokalen Messsystem CLV150 können Oberflächenmerkmale, die im Mikro- und Nanometerbereich liegen, präzise spezifiziert, Fertigungsprozesse deutlich verbessert und die Qualität der gefertigten Dioden genauer überwacht werden — ganz zu Gunsten der Endkunden, die von erhöhter Leistung und Lebensdauer der Dioden profitieren.

Höchste Ansprüche an die Messtechnik

Die Lumics GmbH entwickelt und produziert Hochleistungslaserdioden und Diodenlasermodule. Als eines der wenigen Unternehmen in der Branche verfügt es über eine eigene Chipfertigung. „Wir können individuell auf Kundenwünsche eingehen und entsprechende Dioden entwickeln und liefern“, so Alexander Kaebe, Prozess-Manager bei Lumics.

Messung eines 3“-Wafers zur Ermittlung von Ätztiefen und Lackdicken

[Großes Bild anzeigen]
Ein Hauptmarkt des Unternehmens ist der Medizinbereich. Dort werden die Module als OEM-Produkte in komplexen Geräten verbaut. Darüber hinaus bedient Lumics auch Anwendungen in der Materialbearbeitung und im Bereich Sensorik. Im Hinblick auf die Qualität erwarten die Kunden zuverlässige und langlebige Produkte. Dabei muss auch bei größeren Liefermengen über längere Zeiträume eine gleichbleibende Qualität gewährleistet sein. Die Qualitätskontrolle geht über alle Prozesse hinweg bis hin zum fertigen Produkt. Die Dioden bei Lumics werden einzeln getestet und durchlaufen eine 100%ige Qualitätskontrolle.

Messtechnik mit entscheidendem Vorteil

Nicht zuletzt durch den Aufbau eines neuen Produktionsbereiches, der Lithographie, ergab sich für das Unternehmen die Notwendigkeit der Anschaffung von entsprechender Messtechnik, die die Qualitätskontrolle sowie die Prozessfehlersuche unterstützt. Dabei setzten die Berliner auf die hochpräzise 3D-Messtechnik der Confovis GmbH. Diese bietet mit seinem patentierten konfokalen Messverfahren basierend auf der Structured Illumination Microscopy (SIM) eine deutliche Alternative zu einer Vielzahl an gängigen Verfahren und Systemen. „Vor allem die Möglichkeit, schnell, genau und zerstörungsfrei messen zu können, war ein ausschlaggebender Punkt für die Entscheidung für das Messsystem von Confovis“, führt Herr Kaebe weiter aus. „Bisher waren viele verschiedene Messsysteme, wie REM, AFM, Mikroskope u.a. erforderlich, um die notwendigen Informationen zu erhalten. Nun können wir alles mit einem Messsystem lösen. “ Die Messung mit dem REM war bisher durch die Probenvorbereitung sehr aufwendig und nicht zerstörungsfrei. Bei der Vermessung der Strukturen durch vorhandene Mikroskope war die Auflösung nicht ausreichend, um Tiefen- und Dickenmessungen durchzuführen. Beide Problematiken konnten mit der Anschaffung des Confovis Messgerätes gelöst werden.

Hochauflösend, schnell und bestens für transparente Schichten geeignet

Mit dem ConfoSurf CLV150 kann Lumics nun Mikrostrukturen, insbesondere Strukturabmessungen, Oberflächenbeschaffenheiten und Dicken präzise messen und auswerten. Vor allem bei der Optimierung der Lackprozesse ist das optische Messsystem sehr hilfreich, da hier transparente Schichten erfasst werden müssen. Aufgrund der patentierten Messtechnologie kann Confovis spiegelnde Materialien und transparente Schichten zuverlässig messen. Für Lumics ergibt sich dadurch die Möglichkeit, mit sehr wenig Aufwand und zerstörungsfrei die Lackdicke und Beschaffenheit der Lackflanken zu beurteilen.
Mit einer vertikalen Auflösung von unter 3 nm, gemäß VDI 2655 zeigt sich das CLV150 als Messgerät für anspruchsvolle Messaufgaben. Je nach Anwendung besteht durch das konfokale Messverfahren die Möglichkeit, verschiedenste Oberflächenstrukturen hochpräzise zu messen und auszuwerten. Das ist dann notwendig, wenn beispielsweise die Rauheit profilbasiert nach DIN EN ISO 4287/4288 bzw. nach DIN EN ISO 13565 oder flächenbasiert nach DIN EN ISO 25178 gemessen und ausgewertet werden sollen.

Zerstörungsfrei im Prozess messen

Lumics kontrolliert beispielsweise Ätztiefen und Lackdicken einfach und schnell mit dem Confovis Messsystem. „Gerade dies ermöglicht uns, bei Ätzprozessen die Tiefe sehr genau zu bestimmen, ohne den Wafer vorher komplett zu entlacken und nach der Messung wieder neu zu belacken“, führt Alexander Kaebe aus. Die gemessenen Parameter werden mit den berechneten Sollwerten verglichen. Diese hängen stark von der Epitaxie der Substrate ab und müssen teilweise sehr individuell eingestellt werden. Dabei ist es hilfreich, mit dem CLV150 zwischen den Prozessschritten genau die Ätztiefen oder Beschichtungsdicken nachzumessen.
Das Messsystem bietet eine sehr intuitive Bedienung und erleichtert damit auch die Einarbeitung am Gerät. Die mit der Messsoftware ConfoVIZ® erfassten Messdaten werden anschließend in die Auswerte-Software MountainsMap© übertragen. Dort können u.a. für die Fehleranalyse schnell und unkompliziert Protokolle erstellt und angelegt werden. Damit unterstützt Confovis Kunden im Rahmen der Entwicklung und bei der Überwachung von Fertigungsprozessen.
„Wir verzeichnen bereits jetzt eine deutliche Verbesserung der Prozessanalyse dank der neuen Messtechnik“, sagt Kaebe. Dadurch wird die Qualität verbessert, was dem Endkunden vor allem im Hinblick auf Lebensdauer und Leistung zugutekommt. Auch konnte Lumics nach eigenen Angaben die Prozessausbeute stetig steigern. Für den neu geschaffenen Bereich Lithographie konnten Prozesse aktiv optimiert werden. Auch für weitere zukünftige Anwendungen, wie die Prüfung der Oberflächenbeschaffenheit von zugekauften Materialien, sieht das Unternehmen mit dem Messsystem einen deutlichen Vorteil.

Bilddateien:


Messung eines 3“-Wafers zur Ermittlung von Ätztiefen und Lackdicken
[Großes Bild anzeigen]

3D-Bild des gemessenen Bereichs, erzeugtes Serienprofil des relevanten Bereichs und Bestimmung der Strukturtiefe an den Gräben
[Großes Bild anzeigen]

3D-Bild des Detail-Bereichs zur Bestimmung der flächenbasierten Rauheit nach DIN EN ISO 25178
[Großes Bild anzeigen]

Wafer-Analyse mit dem Confovis Messsystem ConfoDisc CLV150 im Gelbraum von Lumics
[Großes Bild anzeigen]

11.04.2017 15:20

Das könnte auch Sie interessieren:

Technologie von Inspecvision Deutschland
Inspecvision Deutschland bietet unter anderem 2D-Linienscanner PLANAR, das weltweit schnellste 2D-Messsystem, sowie die 3D Messmaschine Opti-Scan 3D und Opti-Probe. Durch hervorragende Messmaschinen können verschiedenste Messaufgaben realisiert...

Λ nach oben

Stichwort-Suche:

Pressemitteilung von:

Logo: Confovis GmbH


Confovis GmbH

Confovis GmbH
Manja Bächstädt
Hans-Knöll-Str. 6
07745 Jena
Telefon: 03641/27410-12
E-Mail:

Confovis ist ein High-Tech-Unternehmen, das seit 2009 auf dem Gebiet der optischen 3D-Messtechnik tätig ist. Durch die patentierte Technologie der Strukturierten Beleuchtung ergeben sich neue Möglichkeiten zur schnellen und...

mehr »

zur Pressemappe von
Confovis GmbH

weitere Meldungen von
Confovis GmbH

Qualitätsprüfung additiv gefertigter Bauteile mittels optischer 3D-Messtechnik [+Bild]

mehr »

 

 


Hinweis: Um Ihnen ein optimales Nutzererlebnis zu bieten, verwenden wir Cookies. Durch die Nutzung dieser Webseite erklären Sie sich damit einverstanden.   Nachricht schließen   mehr info